RHS-1209K4光学除振台-光学除振台-明立精机

利用铸铁平台的特长的特别订购对应机。

采用经过细致的热处理后进行机械加工的面精度高的铸铁平台。贯通孔和台阶，切口等复杂的形状也能再现性很好地制作。另外，通过在加强筋的放入方法上下功夫，可以部分增加强度，也可以进行固定大搭载机器的大口径攻丝加工。作为精密机器的基础，能活用铸铁平台特有的特长。

棋盘的素材采用斑纹岩（通称黑御影）。硬度高，AY-1007K4光学除振台，组织致密，偏差少，是机械·物理性质优良的平台。

石平台的主要特点

可获得高的面精度。

热导率低，几乎不受周围温度变化的影响。

因为吸收率低，所以几乎没有湿度的影响。

组织均匀，耐腐蚀性好。

几乎没有经年变化。

即使错误地损伤平台也不会产生枕，维持平面度。

与铸铁相比，硬度高2～2.5倍，可以防止保鲜膜摩擦。

弹性系数高，挠曲刚性优良。

适用于无尘室内使用的小型台式空簧式除颤装置

概要?特点

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紧凑的车身汇集了空簧式除振系统。不需要调整的自动级别维护类型。

搭载盘上有不锈钢罩，空簧的排气空气可以集中在一个地方的集中排气传感器规格。在要求严格标准的无尘室内使用也很安心。

概要?特点

即使是小型也能应对全自由度的振动

明立精机MAPS系列的主动减振系统是在紧凑的形状中编入垂直用和水平用的气压致动器的单元类型。4通过使用单元，对全自由度的振动发挥出色的除振性能、减振性能、定位性能。

在无源除振中也能切断困难频带的振动

在无源除振中，由于固有振动引起的共振经常会成为问题，但通过可以消除由于固有振动引起的共振。

而且也可以在该频带获得优异的除振性能。例如，不擅长被动除振的2Hz附近的低频振动与被动除振相比，AY-1809K4光学除振台，可以减小到1/30～1/100以下。

标准MAPS可消除10吨以上的装置

近的精密机器随着功能的充实有越来越大型化的倾向。总重量超过10吨的装置也已经开发出来了。由于装置的大型化，装置本身的固有振动频率很难保持高，所以对于以往几乎没有问题的低频振动也容易受到影响。这也是需要低频振动的除振性能优良的主动除振系统的理由之一。

适合精密机器个性的适合的除振系统能以低成本构成。

除振装置的优良性能自不必说，更注重灵活。那是因为，配合精密机器个性的除振系统，光学除振台，直接编入机器的情况变多了。能适应这样的需求的除振系统，那就是AP系列。除了有富余的功能之外，扩展性也很充分。该减振系统实现了更理想的振动环境。

概要?特点

技术和实绩发光的明立空簧除振系统

从显微镜和激光应用技术到半导体制造·检查装置，采用了在广泛的领域有很多实绩的空簧系统。保证在从数Hz到数百Hz的宽频带上出色的除振性能。同时，即使空气的供给停止了的状态，空簧下部的防振橡胶保护装载机器的精密的机械装置。

通用单元类型

装入装置时，除振系统的安装空间要求更小。AP系列是紧凑地归结了空簧和控制那个的高灵敏度水平维持传感器的单元类型。装置无需大幅度变更规格即可安装，可获得高的除振性能。