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台式主动减振系统ME-0806D明立精机除振台

台式主动减振系统

根据在长期的历史和交付实绩中培育了的除振技术被开发了的ME40系列更新为ME系列。紧凑的身体集中6自由度主动除振机构，提供用以前的被动式不能实现的振动环境。近年来，除振台AP-230MKC，特别是在进步惊人的纳米技术领域，除振台，是限度地发挥高精度、高分辨率的精密机器性能的合作伙伴。

概要?特点

6自由度主动控制

经常监视搭载盘及设置面的振动，MKB-0390除振台，通过内置的致动器施加反相位的力来控制振动。用3维（6自由度）控制。

自动活动调整和自动校平

主动控制中不可缺少的增益调整由明立精机的控制系统自动优化。

轻量装载物也能对应

通过重新审视装置构造，小型SPM等轻量的搭载物也可以使用。

仅电源工作

使用所需的实用程序电源。不需要压缩机等空气源。不选择安装场所、使用环境。

应用程序

扫描探针显微镜（SPM）、聚焦激光显微镜、干涉仪系统、三维形状测量机、激光位移仪系统、其他精密测量及精密加工机。

TANAKA田中衡器DRS-350A除振台

磁铁移动灯通过组合直线、曲线、分支和聚合模块，可以实现各种线路配置。由于包括包（手推车）和导轨，因此可以在安装后立即使用。

输送速度：2m/c (120m/min)。停止精度：±0.1～0.5mm（无停止）。

有效负载：大 1 千克（使用单包时），AP-270MKH除振台，大 2 千克（使用串联包时）。

防护等级：IP65（防尘型，喷射水）。

6自由度主动控制的台式除振系统。

经常监视搭载板的振动，通过内置的致动器施加反相位的力来控制振动。

用3维（6自由度）控制。

概要?特点

6自由度主动控制

经常监视搭载板的振动，通过内置的致动器施加反相位的力来控制振动。

用3维（6自由度）控制。

自动活动调整和自动校平

主动控制中不可缺少的增益调整由明立精机的控制系统自动优化。

不受搭载物左右的除振性能

通过重新审视装置构造，即使是小型SPM这样的轻量搭载物也不会降低除振性能。

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